ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിലെ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ

ഒപ്റ്റിക്കൽ ഡിസൈനിന് അർദ്ധചാലക ഫീൽഡിൽ നിരവധി അപ്ലിക്കേഷനുകൾ ഉണ്ട്. ഒരു ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിൽ, പ്രകാശ സ്രോതസ്സ് പുറപ്പെടുവിക്കുന്ന പ്രകാശ സ്രോതസ്സിൽ പുറന്തള്ളപ്പെടുന്ന പ്രകാശ സ്രോതസ്സിനെ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നതിനും സർക്യൂട്ട് പാറ്റേൺ തുറന്നുകാട്ടാൻ സിലിക്കൺ വേഫറിലേക്ക് പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നതിനും ഒപ്റ്റിക്കൽ സിസ്റ്റം ഉത്തരവാദിയാണ്. അതിനാൽ, ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി സിസ്റ്റത്തിലെ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളുടെ രൂപകൽപ്പനയും ഒപ്റ്റിമൈസേഷനും ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീന്റെ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രധാന മാർഗമാണ്. ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങൾ ഇനിപ്പറയുന്നവയാണ്:

പ്രൊജക്ഷൻ ഒബ്ലോവ്
01 ഒരു ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിലെ പ്രധാന ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകമാണ് പ്രോജക്ഷൻ ഒബ്ജക്റ്റീവ്, സാധാരണയായി കോൺവെക്സ് ലെൻസുകൾ, കോൺകീവ് ലെൻസുകൾ, പ്രിസം എന്നിവ ഉൾപ്പെടെയുള്ള ലെൻസുകൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്ന ഒരു ലെൻസുകൾ ഉൾപ്പെടുന്നു.
02 അതിന്റെ പ്രവർത്തനം മാസ്കിലെ സർക്യൂട്ട് പാറ്റേൺ ചുരുക്കുകയും ഫോട്ടോസ്ട്രിസ്റ്റുമായി പൂശിയ വേഫറിലേക്ക് ഫോക്കസ് ചെയ്യുക എന്നതാണ്.
03 പ്രൊജക്ഷൻ ഒബ്ജക്റ്റിന്റെ കൃത്യതയും പ്രകടനവും ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീന്റെ പ്രമേയത്തിലും ഇമേജിംഗ് നിലവാരത്തിലും നിർണ്ണായക സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു

മുഖക്കണ്ണാടി
01 കണ്ണാടിപ്രകാശ ദിശ മാറ്റാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു, അത് ശരിയായ സ്ഥാനത്തേക്ക് നയിച്ചു.
02 EUV ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകളിൽ, മിററുകൾ പ്രത്യേകിച്ചും പ്രധാനമാണ്, കാരണം ഇവ് ലൈറ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾ എളുപ്പത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യും, അതിനാൽ ഉയർന്ന റിഫർട്ടിനീയതയുള്ള കണ്ണാടികൾ ഉപയോഗിക്കണം.
03 ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീന്റെ പ്രകടനത്തെ പ്രതിഫലിപ്പിക്കുന്നതിന്റെ ഉപരിതല കൃത്യതയും സ്ഥിരതയും വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു.

ഫിൽട്ടറുകൾ
01 ഫിൽട്ടറുകൾ അനാവശ്യ തരംഗദൈർഘട്ടങ്ങൾ നീക്കംചെയ്യുന്നതിന് ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയയുടെ കൃത്യതയും ഗുണനിലവാരവും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന്.
02 ഉചിതമായ ഫിൽറ്റർ തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നതിലൂടെ, ഒരു നിർദ്ദിഷ്ട തരംഗദൈർഘ്യത്തിന്റെ പ്രകാശം മാത്രമാണ് ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനിൽ പ്രവേശിക്കുന്നത് ഉറപ്പാക്കാൻ കഴിയുക, അതുവഴി ലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയയുടെ കൃത്യതയും സ്ഥിരതയും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.

പ്രിസുകളും മറ്റ് ഘടകങ്ങളും
കൂടാതെ, ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീൻ പ്രിസുകൾ, ധ്രുവങ്ങൾ മുതലായവ, നിർദ്ദിഷ്ട ലിത്തോഗ്രാഫി ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി അനുബന്ധ മറ്റ് സഹായ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളും ഉപയോഗിച്ചേക്കാം. ഈ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളുടെ തിരഞ്ഞെടുക്കൽ, ഡിസൈൻ, നിർമ്മാണം എന്നിവ ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീന്റെ ഉയർന്ന കൃത്യതയും കാര്യക്ഷമതയും ഉറപ്പാക്കാനുള്ള പ്രസക്തമായ സാങ്കേതിക മാനദണ്ഡങ്ങളും ആവശ്യകതകളും കർശനമായി പാലിക്കണം.

സംഗ്രഹത്തിൽ, ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകളുടെ പ്രകടനവും ഉൽപാദനക്ഷമതയും മെച്ചപ്പെടുത്തുകയാണ്, അതുവഴി മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക്സ് നിർമ്മാണ വ്യവസായത്തിന്റെ വികസനത്തെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നതിനെ തുടർന്ന് ലിത്തോഗ്രാഫി മെഷീനുകളിലെ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളുടെ പ്രയോഗം ലക്ഷ്യമിടുന്നു. ലിത്തോഗ്രാഫി ടെക്നോളജിയുടെ തുടർച്ചയായ വികാസത്തോടെ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഘടകങ്ങളുടെ ഒപ്റ്റിമൈസേഷനും നവീകരണവും അടുത്ത പതിവ് ചിപ്പുകൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിന് കൂടുതൽ സാധ്യതകളും നൽകും.

കൂടുതൽ ഉൾക്കാഴ്ചകൾക്കും വിദഗ്ദ്ധോപദേശംക്കും, ഞങ്ങളുടെ വെബ്സൈറ്റ് സന്ദർശിക്കുകhttps://www.jiujonoptics.com/ഞങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങളെയും പരിഹാരങ്ങളെയും കുറിച്ച് കൂടുതലറിയാൻ.